nanoIRシステムはAFM(原子力顕微鏡)とチュナブルパルスレーザーとの組み合わせで10nm以下空間分解能赤外分光分析を可能にする装置です。
更にサーマルプローブカンチレバー使用により局所熱分析も可能になる高分解能多機能分析装置です。

設定項目

・IRスペクトル   ・AFMイメージ(コンタクト/タッピング)   ・転移温度マッピング
・IR吸収イメージ   ・熱分析   ・表面硬さマッピング

装置

nanoIR2

nanoIR3

ナノスケールマルチ測定項目 空間分解能10nm以下を実現

タッピングAFM-IR nanoIR2-FSシステムはAFMとパルスチューナブルレーザーの融合で10nm以下の空間分解能で赤外スペクトル、赤外吸収マップ、表面硬さ像を高速スキャンモードにより非常に短時間(スペクトル:数秒、3種マッピング:5分)で測定します。

ナノスケールマルチ測定項目 空間分解能10nm以下を実現

① 高速チューナブルパルスレーザーが、AFMカンチレバーチップ先端と試料表面の接触箇所に照射されて、試料が特定波数領域で光を吸収した時、瞬間的に試料の熱膨張が起こる。

② 瞬間熱膨張がカンチレバーを刺激し、カンチレバー振動の振幅が変化する。
レーザーパルスを連続的に波数を変えて照射することにより、特定波数におけるカンチレバーの振幅が変化し、振幅の大きさがIR吸収度に相関する。又、カンチレバーの共鳴信号変化を検知しているため高感度測定が可能になる。

③連続レーザーパルス照射によりカンチレバーの振幅が変化し、振幅信号ピークトップ連続線がIRスペクトルとして表される。

④タッピングAFM-IR測定モードにより空間分解能10nm以下の化学特性イメージが得られる。

⑤AFM-IR測定でトポグラフ(AFM高さ像)、化学特性(IR吸収像)及び機械特性(硬さ像)の3種データが同時に得られる。

タッピングAFM-IR 高分解能イメージング

タッピングAFM-IRマッピングとスペクトル

各種アクセサリー

分解能(エポキシ中ポリスチレン測定

nanoIRとFT-IRのスペクトル比較

応用例

ゴム/ナイロンブレンド境界部解析

ゴムとナイロンブレンドマッピング

多層フィルム測定

カーボンファイバー/エポキシコンポジット境界部解析

基板上異物分析

カーボンファイバー/エポキシコンポジット境界部解析

薄膜分析(20nm厚)

マルチ測定機能