3Dプロファイルメーターはナノスケールからマクロスケールにいたる広範囲領域の寸法計測、表面粗さ（平滑性）、形状、平面そり性、体積、厚さ計測等を短時間で正確に測定するシステムです。多種のオプティカルレンズが用意されており、試料や測定範囲によりレンズを交換するだけで容易に多種類の測定が可能になります。
オプティカルセンサー
スタンダードセンサー
2,000ポイント/秒～10,000ポイント/秒
高速センサー
384,000ポイント/秒
仕様
試料ステージ
| JR25 | JR100 | PS50 | ST400 | AFM PRO | ST500 | HS2000 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| X-Y範囲（mm） | 25×25 | 150×100 | 50×50 | 150×150 | 150×200 | 400×400 | 400×500 |
| スキャンスピード（mm/s） | 20 | 20 | 20 | 50 | 50 | 200 | 500 |
オプティカルペン
| 測定レンチ（μm） | バーティカル分解能（nm） | ラテラル分解能（μM） | 最小トランスペレント厚さ（μm） |
|---|---|---|---|
| 110 | 5 | 1.10 | 7 |
| 300 | 12 | 1.10 | 15 |
| 1100 | 25 | 1.55 | 25 |
| 3000 | 75 | 2.60 | 60 |
| 10000 | 280 | 2.60 | 200 |
| 20000 | 600 | 8.0 | 590 |